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    传感器与微器件的应用、前景和发展
    发布时间:2014-08-08   点击次数:1102次

    ??? 总的来讲,MEMS 器件的市场发展趋势是乐观的。几位文献作者指出:到 2000 年,所有 微器件的市场合计将达 120 亿?130亿美元。Ristic 等人(1994)预测到 20(H)年,传感器的市 场总颔(不仅仅是微制造器件)将达到 130 亿美元。对于那些对微机械加工感兴趣的人来说, 关键的问题是市场总额的组成及各自的比例。他们解释说:增长主要來自今后对“硅传感器 技术”的开发。
    ?

    ??? 系统规划公司(SPC) (1994)的市场研究预测,到 2000 年,仅MEMS 市场就将增至 139? 亿美元。与 Ristic 等(1994)的预测相比,虽然他们考虑的器件范围有所不同,Ristic 等 (1994)只考虑包含微传感器在内的传感器;而 SPC(1994)只考虑微器件,其中包含执行器,但结论相近,并且都相当乐观。Petersen (1 抑 6a)的预测是:器件销售類为 26 亿美元, 能够带动 210 亿美元的系统销售额。虽然数字很小,但其意义重大。与此类似,Brpek (1996)提供了更为保守的估计——到 2005 年,撖器件的市场总额约为 105 亿美元。Bryzek? 同时指出,从第一个样品到大批量的销售,中间一般要相隔 10 到 20 年的时间,以上的预测 都是在这个基础上做出的。

    ????就传感器市场的划分,许多专家认为:在今后几年,汽车方面的应用将占市场的主要部 分。前面提到的 Ristic 和 SPC 对市场的
    划分不同,Ristic 等(1994)是按应用的领域来划分, 而 SPC (1994)是按器件类型。不论哪种划分方法,一次性器件市场(比如医用器
    件市场)? 的增长相对较快。
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    ???? 一个关键点是微传感器与执行器构成了使能技术,其最大的支配能力来源于对系统价值的使能与附加。上面提及的 SPC 报告估计 <或许有些乐观h到2000年,微器件的年销售将 达130亿美元,这会带动近 1000 亿美元的年销售。然而,把使能技犬视为一项重要技术时,? 诸如注模技术、电路印制版技术、黏结技术等也有可能被看做是使能技术。“使能技术”这 概念的进一步讨论有些学术气,
    但这种讨论无疑会继续进行下去。
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    ???? 微型传感器与执行器的市场仍在不断开展,但并没有像 70 年代集成电路市场那样形成爆 发性增长。有些人喜欢将这两种市场进行比较,但实际上并没有什么意义,因为在微机械中 并没有像MOS 电路这样的支撑技术(MOS 电路在很大程度上促成了数字电子1:业的指数增 长)D或许将微机械加工比做模拟集成电路更合适一些,模拟集成电路当然也是一坤使能技 术,但就市场容量而言,与存储器、微处理器等数字电路比起来还相去甚远。但时间终会证实,这类技术是多么重要。

    ???? 现在,在此领域的许多工作都集中在表面微机械加工上,如在衬底上制造薄谟结构,“微 机械加工技术"一章将对此作详细叙述。但在工业界销售的绝大部分器件是用较旧的体微机 械加工技术制造的。虽然表面微器件现在也在批量生产,但要对市场产生巨大影响还窬几年。 至少在短期内,哪种方法都不可能主宰市场。市场将继续由这两种方法制造的新器件共同占 有,它们都能实现电路的集成。有关微制造器件开发的一个有趣而重要的问题是:从概念到成批生产销售之间的孵化期常常超过十年,这就使过于依赖技术预测而对市场作出的判断很可能超前。

    ??? 有许多以微传感器与执行器为中心议题的会议。4 下面是一些最知名的会议:
    ??? 态传感器与拭行器研讨会(^So!if? 丨 Sensor anti ActuatorWorkshop) *? 或你“ Hiiton Head”(Jl:美范围的小型会议,在
    HikonHead, SC 举行 T 限制参加人数。隔年开,比如 1992, 1994、1996……)因态 传感 器 与执 行器 会(International Conference on
    Soljd-Stale Strj.sors find Ac 丨 un-tonO 或称:“ rsduceW (大型国际会议,在亚洲、北美或欧洲举隔年召开,比如1叫t、?993、1995……)。


    ????微 机 电 糸 统 研 会 (Micro Elt^rcji : Mc-chamcal SystemsWorksliop)T? 或称"MKMS"(巾组 匡际研讨会,每年举办一次,中心议题是执行器与机械器件)。
    ???


    ??? 微生休分析系统会议(Micro Total Analysis Systems)?或称£H"TA>S” (国际会议,中心 议题为微机械化学系统,隔年在欧洲举行…次如〖的 4 (第一届)、1996..…h? 欧洲传感器会公(Eurcsensors)(在欧洲举行,讨论范围很广,每年一次 K? 在北美及以卟地区都有许多特定的微机械专题会议。另外,在许多历史久远的“主流”? 学科会议上也增加丫对 MEMS 的技术踉踪。这是很自然
    的事,M 为随肴微机械领域的发屐成 熟,其他学科的最终 W 户必将采用这项技术的可用部分。

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